Depósito de magnetro impulsivo de tungstênio de alta puridade

A depositação de magnetro de tungstênio de alta puridade é uma tecnologia avançada de preparação de filmes finos amplamente utilizada na indústria eletrônica, ciência de materiais e múltiplos campos industriais.

1[UNK] Princípios técnicos

O princípio do revestimento de magnetróns é aplicar uma certa tensão (potência) ao material alvo (aqui tungstênio de alta puridade) em uma certa atmosfera de gás (como a atmosfera de gás Ar), e elétrons colidem com gás Ar durante o processo de movimento para o material alvo, resultando em fenômeno de ionização. Neste ponto, os ións bombardearão a superfície do material alvo, expulsando os átomos alvo (átomos de tungstênio) do material alvo e depositando-os no substrato para formar um material fino de filme.

2[UNK] Características técnicas

1. Alta puridade: Tecnologia de magnetro sputtering pode preparar filmes finos de tungstênio de alta puridade, o que é crucial para dispositivos eletrônicos e instrumentos de precisão que requerem materiais de alta puridade.
2. Uniformidade: através do controle preciso do campo magnético, átomos de tungstênio podem ser depositados uniformemente no substrato, formando um revestimento uniforme e denso.
3. Controlabilidade forte: múltiplos parâmetros durante o processo de sputtering, como tensão, corrente, força de campo magnético, pressão de trabalho, tempo de sputtering, etc., podem ser ajustados para alcançar controle preciso da espessura, composição e microestrutura do filme.
4. Adesão forte: O filme estimulado tem boa adesão com o substrato, melhorando a estabilidade e a confiabilidade do filme.
5. Ambientalmente amigável e sem poluição: O processo de impulso de magnetrons é realizado em um ambiente de vácuo, sem produzir poluentes como resíduos líquidos, resíduos e gases de escape, que satisfazem os requisitos de proteção ambiental.

3[UNK] Campos de Aplicação

A deposição magnétrona impulsiva da tecnologia de tungstênio de alta puridade é amplamente utilizada em múltiplos campos devido a seu excelente desempenho:

1. Indústria eletrônica: usada para fabricar componentes eletrônicos com alta resistência ao calor, alta condutividade e alta resistência à corrosão, como circuitos integrados, sensores, resistentes, etc.
2. Materials Science: Usado para preparar materiais finos de filme com propriedades especiais, como supercondução de filmes finos, filmes finos duros, etc.
3. Aerospace: Usado para fabricar componentes de alta temperatura como câmaras de combustão de motores, nozes de jet, etc., para melhorar a resistência à alta temperatura e a resistência ao uso dos componentes.
4. Fabricação de automóveis: usada para fabricar componentes resistentes ao uso e resistentes à corrosão, como lenhas de cilindros de motor, aneis de pistão, etc., para melhorar o desempenho e a confiabilidade dos automóveis.