Le tungstène de haute pureté plaqué par Pulvérisation magnétron est une technologie avancée de préparation de film qui est largement utilisée dans l'industrie électronique, la science des matériaux ainsi que dans de nombreux domaines industriels.
I. principes techniques
Le principe du revêtement par Pulvérisation magnétron est d'appliquer une certaine tension (puissance) au matériau cible (ici du tungstène de haute pureté) sous une certaine atmosphère gazeuse (telle que l'atmosphère de gaz AR), et les électrons entrent en collision avec le gaz ar lors du mouvement vers la cible, provoquant un phénomène d'ionisation. À ce stade, les ions ar bombardent la surface de la cible, pulvérisent les atomes cibles de la surface (atomes de tungstène) hors de la cible et déposent un matériau en couche mince sur le substrat.
II. Caractéristiques techniques
- Haute pureté: la technologie de Pulvérisation magnétron permet de préparer des films minces de tungstène de haute pureté, ce qui est essentiel pour l'électronique et les instruments de précision nécessitant des matériaux de haute pureté.
- Uniformité: grâce au contrôle précis du champ magnétique, les atomes de tungstène sont capables de se déposer uniformément sur le substrat, formant un revêtement uniforme et dense.
- Forte contrôlabilité: plusieurs paramètres (tels que la tension, le courant, l'intensité du champ magnétique, la pression de travail, le temps de pulvérisation, etc.) peuvent être ajustés pour permettre un contrôle précis de l'épaisseur, de la composition et de la microstructure du film.
- Forte adhérence: une bonne adhérence entre le film pulvérisé et le substrat améliore la stabilité et la fiabilité du film.
- Protection de l'environnement et aucune pollution: le processus de Pulvérisation magnétron est effectué dans un environnement sous vide, ne produit pas de déchets liquides, de résidus et de gaz d'échappement et d'autres polluants, conformément aux exigences de protection de l'environnement.
Iii. Domaines d'application
La technologie de tungstène de haute pureté Plaquée par Pulvérisation magnétron est largement utilisée dans de nombreux domaines en raison de ses excellentes performances:
- Industrie électronique: utilisé pour fabriquer des composants électroniques hautement résistants à la chaleur, hautement conducteurs et hautement résistants à la corrosion, tels que des circuits intégrés, des capteurs, des résistances, etc.
- Science des matériaux: pour la préparation de matériaux de film mince avec des propriétés spéciales, telles que les films supraconducteurs, les films durs, etc.
- Aérospatiale: utilisé pour la fabrication de composants à haute température tels que les Chambres de combustion des moteurs, les buses d'avion, etc. pour améliorer la résistance à haute température et la résistance à l'usure des composants.
- Fabrication automobile: utilisé pour fabriquer des pièces résistantes à l'usure et à la corrosion, telles que des chemises de cylindre de moteur, des anneaux de piston, etc., afin d'améliorer les performances et la fiabilité des voitures.