Depósito de magnetro impulsivo de luteto de alta puridade

A deposição de magnetro sputtering de luteto de alta puridade é uma técnica avançada de deposição física de vapor (PVD) que utiliza o princípio de magnetron sputtering para sputter e depositar átomos alvo de luteto de alta puridade (Lu) na superfície do substrato em um ambiente de vácuo, formando um filme fino de luteto uniforme e denso.

1[UNK] Princípios técnicos

Magnetron sputtering: Magnetron sputtering pertence à categoria de tecnologia de descarga de luz, que usa o princípio de catódio sputtering para revestimento. Em um ambiente de vácuo, um gás inerte (geralmente argão) é introduzido na câmara de reação. Quando um campo elétrico de alta tensão atua em um gás, moléculas de argão são ionizadas para formar um plasma. Os ións de argão de alta energia no plasma colidem com a superfície do material alvo de lutetio sob a aceleração do campo elétrico, resultando em espulsão de átomos alvo. Os átomos de lutetium sputterados depois depositam-se no substrato, formando gradualmente o filme fino desejado.

A função do campo magnético: Ao aplicar um campo eletromagnético ortogonal perto do material alvo, o comprimento efetivo do caminho de elétrons pode ser aumentado, melhorando assim a densidade e a eficiência de sputtering do plasma. A introdução de campos eletromagnéticos ortogonais faz com que os elétrons undergam movimento cicloidal perto do material alvo, aumentando sua probabilidade de colidir com moléculas de gás e melhorando assim a eficiência do processo de espulsão.

2[UNK] Características do luteto de alta puridade

Lutédio (Lu) é um metal terrestre raro que é relativamente raro na natureza. Suas características são as seguintes:

• Propriedades físicas: Lutetio puro é um metal branco de prata com boa ductilidade e plasticidade. Seu ponto de derreter é relativamente alto, cerca de 1650 ° C, e sua densidade é relativamente alta (cerca de 9,84 g/cm ³).
• Propriedades químicas: Lutédio é químicamente ativo e fácil de formar compostos estáveis com muitos elementos não metálicos. Embora relativamente estável no ar, ele reage com oxigênio em altas temperaturas para formar óxidos.
• Características de aplicação: Lutédio tem aplicações importantes em óptica, eletrônica e campos médicos devido a suas propriedades especiais.

3[UNK] Campos de Aplicação

A depositação de magnetro impulsiva da tecnologia de luteto de alta puridade tem amplas aplicações em múltiplos campos:

• No campo da óptica, filmes finos de luteto de alta puridade podem ser usados como materiais para lentes ou filtros ópticos, especialmente na tecnologia laser, onde a introdução de filmes finos de luteto ajuda a melhorar o desempenho óptico.
• No campo da eletrônica, o filme fino de lutetio pode ser usado como material especial para melhorar o desempenho de dispositivos semicondutores e microeletrônica. Por exemplo, como fonte de doping ou material especial de eletrodos, para alcançar o objetivo de otimizar o desempenho elétrico do dispositivo.
• Campo médico: Lutédio é usado como material médico, como lutetio 177, que é usado como portador de is ótopos radioativos para o tratamento de certos cânceres.
• Materiales magnéticos: Lutécio na natureza é dividido em múltiplos is ótopos, alguns deles têm magnetismo, então alguns isótopos de lutecio em elementos de lantânido podem ser usados para preparar materiais magnéticos especiais.