Recubrimiento de lutecio de alta pureza por pulverización magnética

El recubrimiento de lutecio de alta pureza por pulverización magnética es una tecnología avanzada de depósito físico en fase de vapor (pvd). utilizando el principio de pulverización magnética, los átomos objetivo de lutecio de alta pureza (lu) se pulverizan y depositan en la superficie del sustrato en un ambiente de vacío, formando una película de lutecio uniforme y densa.

I. principios técnicos

Pulverización de magnetrón: la pulverización de magnetrón pertenece a la categoría de tecnología de descarga de brillo, que utiliza el principio de pulverización catódica para recubrir. En un ambiente de vacío, el gas inerte (generalmente argón) se introduce en la Cámara de reacción. Cuando un campo eléctrico de alta tensión actúa sobre el gas, las moléculas de argón se ionizan para formar plasma. Los iones de argón de alta energía en el plasma golpearon la superficie del objetivo de lutecio a la aceleración del campo eléctrico, lo que provocó que los átomos del objetivo se salpicaran. Los átomos de lutecio salpicados se depositan luego en el sustrato, formando gradualmente la película necesaria.

Acción del campo magnético: al aplicar un campo electromagnético ortogonal cerca del objetivo, se puede aumentar la longitud efectiva de la ruta del electrón, mejorando así la densidad y la eficiencia del chorro del plasma. La introducción de campos magnéticos ortoeléctricos hace que los electrones se muevan cicloidalmente cerca del objetivo, aumentando su probabilidad de colisión con moléculas de gas, mejorando así la eficiencia del proceso de pulverización.

II. características del lutecio de alta pureza

El lutecio (lu) es un metal de tierras raras que es relativamente raro en la naturaleza. Sus características son las siguientes:

• Propiedades físicas: el lutecio puro es un metal blanco plateado con buena ductilidad y plasticidad. Tiene un punto de fusión relativamente alto, unos 1.650 ° c, y una mayor densidad (unos 9,84 G / CM 3).
• Propiedades químicas: el lutecio es químicamente más activo y fácil de formar compuestos estables con muchos elementos no metálicos. Aunque es relativamente estable en el aire, reacciona con oxígeno a altas temperaturas para producir óxidos.
• Características de la aplicación: el lutecio tiene aplicaciones importantes en los campos de la óptica, la electrónica y la medicina debido a sus propiedades especiales.

III. Áreas de aplicación

La tecnología de recubrimiento de lutecio de alta pureza por pulverización magnética es ampliamente utilizada en muchos campos:

• Campo óptico: las películas de lutecio de alta pureza se pueden utilizar como materiales para lentes ópticas o filtros ópticos, especialmente en la tecnología láser, la introducción de películas de lutecio ayuda a mejorar las propiedades ópticas.
• Campo electrónico: en el campo de los dispositivos semiconductores y la microelectrónica, las películas de lutecio se pueden utilizar como materiales especiales para mejorar el rendimiento de los dispositivos. Por ejemplo, como fuente de dopaje o como material de electrodo especial para optimizar las propiedades eléctricas del dispositivo.
• Área médica: lutecio se utiliza en materiales médicos, como lutecio 177 se utiliza en portadores de radioisótopos para el tratamiento de ciertos cánceres.
• Materiales magnéticos: el lutecio en la naturaleza se divide en una variedad de isótopos, algunos son magnéticos, por lo que algunos isótopos de lutecio en los lantánidos se pueden utilizar para preparar materiales magnéticos especiales.