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Recubrimiento de pulverización de magnetrón
Titanio de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón
  • Titanio de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón

Titanio de alta pureza chapado por pulverización de magnetrón

El recubrimiento de titanio de alta pureza por pulverización de magnetrón es un proceso de procesamiento de depósito físico de vapor de precisión que utiliza la tecnología de pulverización de magnetrón para bombardear objetivos de titanio de alta pureza a través de iones de argón en un ambiente de vacío, para que los átomos de titanio se chorrean y depositen en la superficie del sustrato para formar una película densa uniforme. El chorro de magnetrón tiene las ventajas de una velocidad de recubrimiento controlable, una alta pureza de la película, una fuerte adherencia y una buena uniformidad, y puede obtener películas de titanio precisas y controlables en un gran área o un sustrato en forma especial. Al ajustar los parámetros del proceso, como la Potencia de pulverización, la presión de trabajo, la temperatura del sustrato y el sesgo, se pueden ajustar el tamaño del grano, la estructura de fase cristalina, el estrés interno y la morfología de la superficie de la película de titanio, optimizando así las propiedades mecánicas, químicas y ópticas de la película.

En principio, el titanio, como metal de transición con alta actividad química, sus películas pueden generar espontáneamente una densa capa pasiva de óxido de titanio en el aire o en un ambiente aeróbico, dando al recubrimiento una excelente resistencia a la corrosión y propiedades antioxidantes, lo que puede proteger eficazmente el sustrato de la erosión ambiental. La película de titanio tiene una buena biocompatibilidad y no es fácil desencadenar una reacción de rechazo después de la implantación en el cuerpo humano. es un material ideal para la modificación de la superficie de dispositivos médicos e implantes. La introducción de nitrógeno o fuentes de carbono a través del proceso de pulverización química puede depositar recubrimientos cerámicos duros como nitruro de titanio (tin) o nitruro de titanio de carbono (ticn) en la superficie del sustrato, lo que mejora considerablemente la dureza de la superficie y la resistencia al desgaste. En el campo óptico, las películas de titanio y dióxido de titanio tienen un índice de refracción y características espectrales específicas, que se pueden utilizar para preparar capas antirreflectantes, filtros y películas funcionales fotocatalíticas.

La ventaja central de este producto es que el proceso de pulverización de magnetrón puede preparar películas de titanio de alta pureza, alta densidad y fuerte adherencia, que cumplen con los estrictos requisitos de dispositivos médicos, maquinaria de precisión y dispositivos ópticos; Los parámetros del proceso se pueden ajustar, el espesor de la película, la microestructura y las características funcionales se pueden optimizar bajo demanda, logrando la personalización multiobjetivo de resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste, biocompatibilidad o funciones ópticas; El sustrato tiene una amplia gama de adaptabilidad y se puede recubrir en una variedad de superficies de sustrato, como metal, cerámica, vidrio, pastillas de silicio y películas flexibles. Advanced Academy (shenzhen) Technology co., Ltd. puede personalizar el grosor de la película de titanio, el tipo de sustrato y el esquema de patrón del área de recubrimiento de acuerdo con las necesidades de los clientes, y proporcionar servicios de procesamiento de recubrimiento de pulverización de imán de precisión de película de titanio de alta pureza para dispositivos médicos, maquinaria de precisión, dispositivos ópticos y fabricación de semiconductores.


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El recubrimiento de titanio de alta pureza (ti) por pulverización de magnetón es un método para depositar películas de titanio de alta pureza en la superficie del sustrato utilizando la tecnología de pulverización de magnetón. La tecnología de pulverización de control magnético es una tecnología avanzada de deposición de película delgada, que se ha utilizado ampliamente en la producción industrial debido a sus ventajas de alta velocidad de deposición, buena calidad de película delgada y fuerte flexibilidad tecnológica. Como material metálico ligero importante, el titanio (ti) tiene las características de baja densidad, alta resistencia y buena resistencia a la corrosión, y tiene una amplia gama de aplicaciones en aeroespacial, dispositivos médicos, equipos químicos, dispositivos electrónicos y otros campos.

Proceso de recubrimiento de titanio de alta pureza por pulverización magnética

El proceso básico de pulverización de magnetrón para recubrir titanio de alta pureza incluye los siguientes pasos:

  1. Preparación del objetivo: se seleccionan objetivos de titanio de alta pureza, cuya pureza suele ser superior al 99,95%.
  2. Crear un entorno de vacío: establecer un entorno de alto vacío dentro de la cavidad de un dispositivo de pulverización de magnetrón, generalmente el vacío debe alcanzar entre 10 ℃ - 6 y 10 ℃ - 8 torr.
  3. Introducción de gas de pulverización: introducción de gas inerte (generalmente argón) para producir plasma alrededor del objetivo.
  4. Campo magnético aplicado: establecer un campo magnético cerca de la superficie del objetivo para aumentar la densidad de plasma y mejorar la eficiencia del chorro.
  5. Deposición por pulverización: las partículas cargadas en el plasma golpean la superficie del objetivo de titanio, lo que hace que los átomos de titanio se separen y se depositen en el sustrato.
  6. Controlar el espesor de la película: controlar el espesor de la película ajustando parámetros como el tiempo de pulverización y la densidad de corriente.

Características de las películas de titanio de alta pureza

  1. Alta pureza: las películas de titanio de alta pureza se pueden obtener a través de la tecnología de pulverización de magnetrón.
  2. Uniformidad: las películas depositadas tienen una buena uniformidad y densidad.
  3. Fuerte adherencia: mejor adherencia entre la película y el sustrato.
  4. Fuerte controlabilidad: las propiedades de la película se pueden controlar con precisión ajustando los parámetros del proceso, como el grosor, el tamaño del grano, etc.

Aplicación de películas de titanio de alta pureza

  1. Aeroespacial: se utiliza para fabricar componentes ligeros y de alta resistencia, como piezas estructurales de aeronaves, piezas de naves espaciales, etc.
  2. Dispositivos médicos: debido a la buena biocompatibilidad del titanio, se puede utilizar para fabricar huesos artificiales, implantes dentales, etc.
  3. Equipos químicos: debido a la resistencia a la corrosión del titanio, se puede utilizar para fabricar contenedores químicos, tuberías, etc.
  4. Dispositivos electrónicos: como capa conductora o dieléctrica para circuitos integrados, sensores, etc.
  5. Recubrimiento decorativo: para el tratamiento de superficies metálicas, proporciona una capa protectora resistente al desgaste y a la corrosión.

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