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Captura de magnetro
Magnetron sputtering deposition of high purity nickel Ni
  • Magnetron sputtering deposition of high purity nickel Ni

Magnetron sputtering deposition of high purity nickel Ni

A deposição de magnetrão de níquel de alta puridade NI é um processo de deposição física de vapor de precisão que utiliza tecnologia de magnetrão de esposição para bombardear alvos de níquel de alta puridade com ións de argão em um ambiente de vácuo, fazendo com que os átomos de níquel de esposição e deposição na superfície do substrato para formar um filme fino uniforme e denso. A esputação de magnetrão tem as vantagens da taxa de revestimento controlável, alta pureza de filme, forte adesão e boa uniformidade. Pode obter filmes finos de níquel com espessura precisa e controlável em grandes áreas ou substratos irregulares. Ao ajustar parâmetros de processo como potência de espulsão, pressão de trabalho, temperatura do substrato e tensão de viés, o tamanho do grão, estrutura de fase cristal e estresse interno da camada de filme de níquel podem ser controlados, otimizando assim a resistência à corrosão, dureza, propriedades magnéticas e elétricas da camada de filme.

Em princípio, o níquel, como metal de transição ferromagnética, tem um importante valor de aplicação em vários campos funcionais para seus finos filmes. O nikel tem uma excelente estabilidade química e pode formar uma densa camada de passivação no ar ou na mídia corrosiva, proporcionando proteção efetiva da corrosião para o substrato. Sua dureza e ductilidade tornam a camada de filme mecânicamente resistente ao uso e resistente ao impacto. O nikel é um material ferromagnético típico, e seu filme fino tem alta permeabilidade magnética e baixa coercividade. É o material magnético do núcleo para preparar a mídia de gravação magnética, sensores magnéticos e camadas de escudo magnético. No campo da eletroquímica, filmes finos de níquel mostram excelente atividade catalítica para reações de evolução de hidrogênio e eletrooxidação orgânica. Em interconexões de semicondutores, o níquel pode servir de barreira de difusão entre cobre e sílico, suprimindo a interdifusão de sílico de cobre.

A vantagem essencial deste produto é que o processo de sputtering magnetrónico pode preparar filmes finos de níquel de alta puridade, alta densidade e forte adesão, atendendo aos exigências rigorosas de resistência à corrosão, dispositivos magnéticos e interconexões eletrônicas; Os parâmetros de processo podem ser ajustados, e a espessura e microestrutura da camada de filme podem ser otimizadas, conforme necessário, para alcançar personalização multiobjetiva como resistência à corrosão, função magnética, condutividade e catalisação; O substrato tem ampla adaptabilidade e pode ser colocado em várias superfícies de substratos como metais, cerâmica, vidro, wafers de sílico e filmes de polímero. Advanced Institute (Shenzhen) Technology Co., Ltd. pode personalizar a espessura do filme de níquel, tipo de substrato e soluções de padronização da área de revestimento de acordo com as necessidades do cliente, fornecendo serviços de processamento de revestimento de magnetrona de precisão para filmes de níquel de alta puridade em campos como revestimentos protetores resistentes à corrosão, sensores magnéticos, eletrodos eletrôquimicos e dispositivos semicondutores.


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Depósito de magnetro de níquel de alta puridade (Ni) é um processo de depositação de filmes finos de níquel de alta puridade em superfícies de substratos usando tecnologia de magnetro de espulsão. O nikel tem uma ampla gama de aplicações em diversos campos como eletrônica, aeroespaço, engenharia química, dispositivos médicos, etc. devido a suas excelentes propriedades físicas e químicas, como boa condutividade, condutividade térmica, resistência à corrosão e magnetismo.

O processo de magnetrón sputtering para depositar níquel de alta puridade

O processo básico de sputtering de magnetrons para cobertura de níquel de alta puridade inclui os seguintes passos:

  1. Preparação de material alvo: Seleccione material alvo de níquel de alta puridade, geralmente com um requisito de puridade de 99,99% ou mais.
  2. Criar um ambiente de vácuo: Estabelecer um ambiente de vácuo elevado dentro da cavidade do dispositivo de sputação magnetrónica para assegurar a pureza durante o processo de depositação.
  3. Introdução de gás sputtering: gás inerte (geralmente argão) é introduzido para gerar plasma ao redor do material alvo.
  4. Campo magnético de aplicação: Coloque um campo magnético perto da superfície do material alvo para aumentar a densidade plasmática e melhorar a eficiência de sputtering.
  5. Depósito de esputação: As partículas cargadas no plasma colidem com a superfície de um material alvo de níquel, causando que os átomos de níquel se separam e se depositem no substrato.
  6. Espessura do filme de controle: Ao ajustar parâmetros como tempo de espessura e densidade corrente, a espessura do filme pode ser controlada.

Características do filme fino de níquel de alta puridade

  1. Alta puridade: filmes finos de nikel com extremamente alta puridade podem ser obtidos através de tecnologia de espulsão de magnetróns.
  2. Uniformidade: O filme depositado tem boa uniformidade e densidade.
  3. Adesão forte: A adesão entre o filme e o substrato é boa.
  4. Controlabilidade forte: As propriedades do filme, como espessura e tamanho de grãos, podem ser exatamente controladas ajustando parâmetros de processo.

Aplicação de um filme fino de níquel de alta puridade

  1. Dispositivos eletrônicos: usados como camadas condutivas ou dielétricas em circuitos integrados, sensores, etc.
  2. Captura anti-corrosiva: usada para tratamento da superfície metal, fornecendo uma camada protetora resistente ao uso e resistente à corrosião.
  3. Material magnético: Utilizando as propriedades magnéticas do níquel, é usado para fabricar meios de gravação magnética, sensores magnéticos, etc.
  4. Aerospace: Usado para fabricar componentes resistentes a altas temperaturas e corrosão.

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