Pulvérisation magnétron haute plaqué de thulium pur

Le thulium de haute pureté plaqué par Pulvérisation magnétron est une technique de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Dans la chambre à vide, on charge un gaz inerte (généralement de l'argon). Sous l'effet d'un champ électrique, l'argon est ionisé pour former un plasma. Les ions d'argon dans le plasma, accélérés par un champ électrique, frappent à grande vitesse une cible de thulium de haute pureté. En raison du bombardment des ions, les atomes de thulium sont pulvérisés hors de la surface de la cible. Dans le même temps, le champ magnétique dans le dispositif de Pulvérisation magnétron contraint le chemin de déplacement des électrons, augmentant la probabilité de collision des électrons avec les molécules d'argon, améliorant ainsi la densité et l'efficacité de pulvérisation du plasma. Les atomes de thulium pulvérisés sont déposés à la surface du substrat, formant progressivement un film mince de thulium de haute pureté.

Caractéristiques du thulium de haute pureté

1. Caractéristiques physiques
   • Le thulium est un métal blanc argenté avec une texture douce. Il a un point de fusion élevé (1545 ° c), ce qui nécessite un apport d'énergie approprié pour assurer la pulvérisation efficace et le dépôt des atomes pendant le processus de revêtement.
   • Le thulium de haute pureté a une densité relativement importante de 9321 G / cm³, ce qui affecte la qualité et les propriétés physiques du film.
2. Caractéristiques chimiques
   • Le thulium est relativement stable dans l'air, mais réagit avec l'oxygène, etc., à des températures élevées. Pendant le processus de revêtement, l'environnement sous vide évite efficacement les réactions chimiques inutiles, garantissant la pureté du film.
   • Il a une certaine activité chimique et peut réagir avec certains acides. Dans les applications pratiques, la stabilité chimique du film doit être prise en compte pour répondre aux différents environnements d'utilisation.

Domaines d'application

1. Domaine optique
   • En ce qui concerne les films optiques, les films de thulium de haute pureté peuvent être utilisés pour fabriquer des lentilles optiques spéciales ou des filtres. Parce que le thulium a une structure atomique spécifique et des propriétés de transition électronique, ses films minces ont des propriétés optiques uniques d'absorption et d'émission dans certaines bandes et peuvent être utilisés dans des composants optiques en technologie laser, tels que les matériaux de revêtement qui agissent comme des miroirs à cavité laser, améliorant l'efficacité de sortie et la stabilité du laser.
   • Dans le domaine de l'optique infrarouge, le film mince de thulium peut être utilisé dans la couche de fenêtre ou la couche absorbante d'appareils tels que les détecteurs infrarouges, améliorant la capacité de détection de l'appareil dans la bande infrarouge.
2. Domaine électronique
   • Dans la fabrication de dispositifs semi - conducteurs, les films minces de thulium de haute pureté peuvent servir de source dopée ou de matériau d'électrode. La structure électronique spéciale de l'atome de thulium peut introduire des niveaux d'énergie d'impuretés spécifiques dans le matériau semi - conducteur, modifiant ainsi les propriétés électriques du semi - conducteur, telles que l'ajustement de la concentration et de la mobilité des porteurs, etc.
   • Pour certains composants électroniques à haute fréquence, tels que les dispositifs à micro - ondes, les films minces de thulium peuvent être utilisés pour améliorer les propriétés de surface du composant, améliorer ses performances à haute fréquence, telles que la réduction des pertes de signal, etc.
3. Domaines liés aux matériaux magnétiques
   • Bien que le thulium ne soit pas un matériau magnétique fort typique, dans l'étude de certains nouveaux matériaux magnétiques, les films minces de thulium de haute pureté peuvent être composés avec d'autres matériaux magnétiques pour explorer de nouvelles propriétés et applications magnétiques. Par exemple, dans le domaine de la spintronique, le thulium peut être impliqué comme élément potentiel dans la construction de systèmes de matériaux ayant des propriétés spécifiques liées au spin.

Avantages du process

1. Film de haute qualité
   • La technologie de Pulvérisation magnétron permet de préparer des films minces de thulium de haute pureté avec une grande pureté et une bonne compacité. Comme le processus de pulvérisation est un processus de dépôt au niveau atomique, la probabilité de mélange d'impuretés est faible et la qualité et les performances du film peuvent être ajustées avec précision en contrôlant les paramètres de pulvérisation.
2. Bonne uniformité
   • Cette technique permet d'obtenir un dépôt de film homogène sur une plus grande surface de substrat. Qu'il s'agisse d'un substrat plan ou d'un substrat présentant une certaine courbure, la Pulvérisation magnétron contrôle mieux l'uniformité de l'épaisseur du film mince de Thulium, ce qui est important pour la cohérence des performances des dispositifs optiques et électroniques.
3. Contrôle précis possible
   • Les paramètres tels que l'épaisseur, la composition et la structure du film peuvent être contrôlés avec précision. En ajustant les paramètres de processus tels que la puissance de pulvérisation, le temps de pulvérisation, la pression du gaz de travail, etc., il est possible de préparer des films minces de thulium de haute pureté qui répondent aux besoins de différentes applications.