Magnétron pulvérisation plaqué tôle de haute pureté

Le Scandium de haute pureté plaqué par Pulvérisation magnétron est une technologie de traitement de surface avancée qui utilise le principe de Pulvérisation magnétron pour pulvériser une cible de scandium de haute pureté sur la surface du substrat dans un environnement sous vide, formant un film de scandium uniforme et dense.

I. principes techniques

La technique de revêtement par Pulvérisation magnétron est une méthode de dépôt physique en phase vapeur (PVD) qui consiste essentiellement à utiliser l'effet de pulvérisation pour transférer des atomes cibles à la surface du substrat, formant ainsi un film mince. Lors de la Pulvérisation magnétron, un gaz inerte (tel que l'argon) est d'abord introduit dans la cavité à vide, puis le gaz est ionisé pour former un plasma par un champ électrique haute pression. Les ions de haute énergie dans le plasma frappent la surface de la cible sous l'accélération du champ électrique, provoquant la pulvérisation des atomes de la cible et le dépôt sur le substrat, couche par couche, formant le film mince désiré. L'introduction d'un champ magnétique peut augmenter la longueur du trajet et le temps de rétention des électrons, améliorer la densité et la stabilité du plasma et ainsi améliorer l'efficacité de pulvérisation et la qualité du film.

II. Caractéristiques du scandium de haute pureté

Le Scandium de haute pureté (SC), en tant que métal rare, possède de nombreuses caractéristiques physiques et chimiques exceptionnelles. Dans le traitement de surface, le Scandium de haute pureté est souvent utilisé dans la préparation de matériaux en film mince, ce qui peut améliorer la résistance à la corrosion, la dureté et la capacité de protection contre l'oxydation du matériau. En outre, le Scandium de haute pureté a également de bonnes propriétés de dilatation thermique et de résistance à l'usure, ce qui le rend prometteur pour une large gamme d'applications dans les domaines du revêtement optique, du revêtement céramique, de l'électronique, des batteries solaires, etc.

Iii. Étapes de fonctionnement pour le revêtement de scandium haute pureté par Pulvérisation magnétron

1. Phase préparatoire: préparation du matériau cible (cible de scandium de haute pureté) et du matériau de base à traiter. Assurez - vous que la surface de la cible et du matériau de base est propre, plane et exempte d'impuretés et d'huile.
2. Environnement sous vide: Placez la cible et le matériau de base dans la Chambre de pulvérisation sous vide pour extraire le gaz de la pièce par le système de pompe à vide et établir un environnement sous vide stable.
3. Chauffage et nettoyage: traitement de chauffage et de nettoyage de la cible et du matériau de base pour éliminer les gaz, l'humidité et les impuretés adsorbés sur la surface, améliorer l'efficacité de pulvérisation et la qualité du film.
4. Introduction de gaz: sous vide, un gaz inerte de haute pureté (tel que l'argon) est introduit et les impuretés résiduelles et l'humidité sont éliminées par un système de purification de gaz.
5. Processus de pulvérisation: Activez le champ électrique haute tension pour ioniser le gaz inerte pour former un plasma. Les ions de haute énergie dans le plasma frappent la surface de la cible sous l'accélération du champ électrique, provoquant la pulvérisation des atomes de la cible et le dépôt sur le matériau de base pour former un film mince.
6. Traitement ultérieur: le film déposé est soumis à un traitement de surface et à un processus de préparation ultérieur pour obtenir les propriétés et les caractéristiques souhaitées.

Iv. Domaines d'application

La technologie de scandium de haute pureté Plaquée par Pulvérisation magnétron a de larges perspectives d'application dans de nombreux domaines. Par exemple:

• Revêtement optique: utilisez les excellentes propriétés optiques du scandium de haute pureté pour préparer un film optique à haute perméabilité et faible réflectivité.
• Revêtement céramique: améliore la dureté, la résistance à l'usure et la résistance à la corrosion des matériaux céramiques.
• Dispositifs électroniques: dans le processus de fabrication de dispositifs semi - conducteurs, de circuits intégrés et d'autres produits électroniques, les films minces de scandium de haute pureté peuvent être utilisés pour préparer des couches conductrices, des couches isolantes et d'autres structures clés.
• Cellules solaires: améliorer l'efficacité et la stabilité de la conversion photoélectrique des cellules solaires.